微機電(MEMS)系統(tǒng)開啟了智能產(chǎn)品的新紀元，該技術為設備帶來了生命，它們可以感知、可以控制硅基微傳感器到針尖大小的微執(zhí)行器的整個系統(tǒng)。

用于MEMS和納米技術的生物醫(yī)學聚對二甲苯（Parylene）和涂層技術是制造商提高對其發(fā)明的保護水平以及產(chǎn)品整體質量增長的方式。在處理如此小規(guī)模的技術時，適當保護設備至關重要。

派瑞林納米鍍膜技術有助于嚴苛環(huán)境中的微機電(MEMS)保護

生物醫(yī)學納米技術產(chǎn)品和MEMS的電子元件可能會遇到需要額外保護的惡劣環(huán)境。針對微機電(MEMS)和生物醫(yī)學納米技術組件的苛刻條件所需的一些保護類型包括：

一、Parylene為MEMS傳感器極端環(huán)境下的熱保護

在油氣鉆井傳感器等應用中，微機電(MEMS)需要在其極端工作環(huán)境中保持熱穩(wěn)定性。由于它們經(jīng)常用于石油、天然氣和其他類型的敵對鉆井和深井勘探，因此組件上的所有組件都需要耐受極端溫度、壓力和流體暴露。

Parylene的超薄涂層可以保護MEMS傳感器，而不會改變設備的尺寸或影響傳感器以任何方式執(zhí)行的能力。

熱電設備也受益于微型機器保護派瑞林（Parylene）。這是由于它們在熱或冷環(huán)境之間可互換的應用中的使用。這也適用于用于航空航天和空間應用的電源開關中的 MEMS。Parylene 可以有效防止極端高度和深空環(huán)境的影響，并且是經(jīng)過軍用規(guī)格認證的涂層。

二、Parylene為微流體傳感器器件的防潮保護作用

當MEMS和生物醫(yī)學聚對二甲苯技術用于可能發(fā)生電氣和濕氣損壞的設備時，生物醫(yī)學聚對二甲苯不僅可以屏蔽設備組件，還可以延長產(chǎn)品在這些環(huán)境中的使用壽命。

一般芯片實驗室使用和開發(fā)的微流體設備，需要對通道材料進行防潮保護，其中流體在微米厚的通道中進行分析、分配或移動。Parylene的超薄涂層可以為通道和整個設備提供均勻且無針孔的保護。當微流體裝置被設計為植入物時，Parylene具有生物相容性、生物穩(wěn)定性，并在醫(yī)療行業(yè)中備受推崇。

三、Parylene鍍膜技術的新興應用

基于MEMS晶圓的 'MOEMS '（微光機電系統(tǒng)）的不斷發(fā)展，Parylene鍍膜技術以其無針孔性、均勻性等特點是微機電產(chǎn)品的優(yōu)質保護涂層的理想選擇。由于沒有填充劑干擾或降低設備之間的光信號或傳輸速率，所以，Parylene是不錯的保形涂層材料。

四、生物醫(yī)學Parylene鍍膜技術和微型機器保護應用

生物醫(yī)學聚對二甲苯（Parylene）是行業(yè)標準保形涂層材料的替代品。這種類型的微型機器保護應用于超薄涂層，以保護生物醫(yī)學納米技術的產(chǎn)品。生物醫(yī)學聚對二甲苯（Parylene）的較新發(fā)展產(chǎn)生了新的配方，提供更小的分子結構和很好的熱和介電等保護作用。

綜上所述，Parylene超薄涂層是保護微組件和提高微機電 (MEMS)系統(tǒng)使用壽命性能較有效方法。

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